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2018
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真空系統(tǒng)是真空干燥和真空冷凍干燥中的必備主要部件，為獲得高質(zhì)量的制品，必須知道對(duì)對(duì)真空干燥機(jī)的真空泵使用注意事項(xiàng)要有全面的了解，真空系統(tǒng)出現(xiàn)問題，就不能進(jìn)行加工，因此，真空系統(tǒng)的日常維護(hù)保養(yǎng)是很重要的工作，下面我們就一起來學(xué)習(xí)一下真空系統(tǒng)的保養(yǎng)事項(xiàng)。一、真空泵油：1、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。2、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。3、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。 二、使用注意事項(xiàng)：1、盡量控制真空干燥機(jī)真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在最高效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，才能獲得最大的節(jié)能效果。2、真空干燥機(jī)真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C。3、如發(fā)現(xiàn)真空干燥機(jī)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。 三、真空泵清理：1、一般情況下，真空干燥機(jī)真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕...
2019
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10
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水環(huán)真空泵的特點(diǎn) 與其他類型的機(jī)械真空泵相比，水環(huán)真空泵具有以下優(yōu)點(diǎn)： 1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求低，易于加工?！ ?)結(jié)構(gòu)緊湊，泵轉(zhuǎn)數(shù)高，一般可直接與電動(dòng)機(jī)連接。不需要減速裝置。 因此，在結(jié)構(gòu)尺寸小的情況下，能夠獲得大的位移，并且占地面積小。 3)壓縮氣體基本上是等溫的(通常壓縮指數(shù)n=1.1?1.15可變)，即壓縮氣體過程中，溫度變化小; 4)腔內(nèi)無金屬摩擦面，無需潤滑泵，磨損很小，旋轉(zhuǎn)件與固定件之間的間隙可用液體密封; 5)吸氣均勻，工作穩(wěn)定可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便?！ ∷h(huán)真空泵是粗真空泵，極限壓力：?jiǎn)渭?jí)泵：2.66?9.31 kPa;兩級(jí)泵：0.133?0.665 kPa;串聯(lián)大氣壓噴油器：0.27?0.67 kPa 液環(huán)型壓縮機(jī)，工作壓力范圍：(1?2)× 105Pa(表壓)含濃硫酸的工作介質(zhì)：壓力最高為6× 105 Pa?！ ∷h(huán)真空泵的啟動(dòng)和停止 首先，水環(huán)真空泵的啟動(dòng)步驟： 1.打開圖中的閘門，向水環(huán)泵供水。特別提醒：水量不應(yīng)超過泵高的1/4，然后關(guān)閉水閘?！ ?.啟動(dòng)電動(dòng)機(jī)，使水環(huán)泵運(yùn)行。 同時(shí)，打開門，使得真空壓力計(jì)的指針接近0MPa(表壓)。 隨著水環(huán)泵的絕對(duì)壓力下降，指針將移至負(fù)值(讀數(shù)在0-0.003 MPa之間)?！ ?.啟動(dòng)水環(huán)之后，當(dāng)泵正常運(yùn)行時(shí)，可能會(huì)有噪音。這是因?yàn)樗h(huán)泵的工作點(diǎn)更接近高真空，并且泵的運(yùn)行噪音...
2019
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真空泵故障現(xiàn)象 1.泵負(fù)載偏大 原因:起動(dòng)時(shí)真空泵內(nèi)水位過高?！ √幚矸椒?按規(guī)定水位起動(dòng)(自動(dòng)排水閥以下)?！ ≡?填料壓蓋上的太緊?！ √幚矸椒?放松填料壓蓋?！ ≡?內(nèi)部機(jī)件生銹?！ √幚矸椒?用力扳動(dòng)轉(zhuǎn)子，并用水沖洗?！ ≡?排出壓力增高。 處理方法:檢查排氣管路及閥門管徑是否過小?！ ≡?配電屏電流保護(hù)調(diào)整不當(dāng)?！ √幚矸椒?調(diào)整熱繼電器至電流額定值?！ ?.真空泵泵卡死 原因:管路有焊渣等異物被吸入至泵體內(nèi)?！ √幚矸椒?清理?！ ≡?結(jié)垢嚴(yán)重?！ √幚矸椒?拆卸清洗?！ ?.真空泵真空度低 原因:供水量不足或水溫偏高?！ √幚矸椒?調(diào)整供水量，檢查供水管路是否堵塞?！ ≡?系統(tǒng)有泄漏?！ √幚矸椒?檢查管路連接的密封性?！ ≡?介質(zhì)有腐蝕或帶入物料磨蝕，使內(nèi)部機(jī)件間隙加大。 處理方法:凈化介質(zhì)?！ ≡?填料密封泄漏。 處理方法:擰緊填料壓蓋?！ ≡?內(nèi)部結(jié)垢嚴(yán)重?！ √幚矸椒?清除水垢?！ ≡?機(jī)件腐蝕?！ √幚矸椒?更換零件?！ ≡?修配后，軸向間隙不符合要求?！ √幚矸椒?重新調(diào)整軸向間隙。 4.真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)聲音異?！ ≡?氣體沖刷或噴射。 處理方法:加裝噴射器?！ ≡?吸、排氣管壁太薄?！ √幚矸椒?采用管壁較厚的氣管?！ ≡?泵在高真空下運(yùn)行發(fā)生氣蝕?！ √幚矸椒?采用較低溫度的工作水，或在吸入側(cè)補(bǔ)充氣體，也可配上噴...
2020
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05
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真空泵是一種真空獲取設(shè)備，它可以利用物理、化學(xué)或機(jī)械方法從容器中抽取空氣，以獲得和改善真空環(huán)境。真空泵種類繁多，在我國許多工業(yè)領(lǐng)域都有應(yīng)用。本文重點(diǎn)介紹了真空泵的分類以及幾種常見真空泵的性能、優(yōu)缺點(diǎn)，并分析了我國真空泵產(chǎn)品的發(fā)展趨勢(shì)?！ ≌婵盏囊饬x 17世紀(jì)，意大利物理學(xué)家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指給定空間內(nèi)氣體壓力低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。完全沒有氣體的狀態(tài)叫做絕對(duì)真空。一般來說，我們指的是相對(duì)真空，也就是說，在可以達(dá)到的最低壓力下，每立方米氣體中仍有幾個(gè)氣體分子。 在真空技術(shù)中，“真空度”和“壓力”通常用來表示真空度。某個(gè)空間的壓力越低，真空度越高，壓力越高，真空度越低。根據(jù)各壓力范圍內(nèi)不同的物理特性，真空一般分為粗真空、低真空、高真空和超高真空。 真空泵的分類及發(fā)展趨勢(shì) 真空泵的分類 自20世紀(jì)初以來，真空技術(shù)不斷發(fā)展，真空設(shè)備種類越來越多，應(yīng)用領(lǐng)域逐漸擴(kuò)大。根據(jù)真空泵的工作原理，它可分為兩種基本類型：輸氣泵和集氣泵。輸氣泵主要是通過不斷地吸入和排出氣體來達(dá)到抽氣的目的。氣體捕獲泵通過允許氣體分子在泵的內(nèi)表面上被吸附或冷凝來減少容器中氣體分子的數(shù)量。 真空泵的分類及發(fā)展趨勢(shì) 幾種常見的工業(yè)真空泵及其發(fā)展趨勢(shì) 水環(huán)真空泵是一種可變?nèi)莘e泵，它可以清除易燃、易爆和腐蝕性氣體，以及含有灰塵和濕氣的氣體。該真空泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于維護(hù)、磨損小、安全性高、對(duì)輸...
2020
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機(jī)械真空泵全拆修叫做大修，對(duì)采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有滲漏等現(xiàn)象;或者有些泵有下述現(xiàn)象之一者：如泵發(fā)生“卡死”現(xiàn)象，油很臟而且泵內(nèi)已結(jié)了垢，生了銹或用了不適當(dāng)?shù)挠褪箼C(jī)械真空泵內(nèi)部零部件上結(jié)了硬殼(硅油進(jìn)入機(jī)械真空泵內(nèi)，就可能產(chǎn)生這種情形)，旋片有較大的撞擊聲，泵腔內(nèi)落入異物(金屬屑、玻璃屑、銅屑等)劃傷泵腔，摩擦發(fā)熱溫升很厲害(超過70℃)等，均需將機(jī)械真空泵全拆開進(jìn)行清洗修理?！ 〔鹦稒C(jī)械真空泵的步驟及注意事項(xiàng)如下: 1、切斷電源，拔下電源插頭。該泵如在系統(tǒng)上，應(yīng)當(dāng)從設(shè)備上取下。 2、擰開放油螺栓放油，用手盤動(dòng)皮帶輪，使泵腔內(nèi)余油全部放出。油應(yīng)收集好，一般是在機(jī)械真空泵底板下放一鐵制油盤或磁盤等(通稱方盤)收集，以便于今后蒸餾回收和免于污染環(huán)境?！ ?、拆下皮帶，卸下皮帶輪、鍵，脫開底板，視電機(jī)好壞程度(如發(fā)熱、過臟、有干磨的噪音，振動(dòng)較大等)應(yīng)予修理或送電工洗油修理?！ ?、先拆低真空端蓋板(后端蓋板，即遠(yuǎn)離泵輪的一端)，拆卸時(shí)根據(jù)不同螺釘使用不同的工具。對(duì)于一般六角螺釘可用呆扳手，內(nèi)六角螺釘要用內(nèi)六角扳手，必要時(shí)要使用套筒扳手，這樣不會(huì)損壞螺釘。擰開端蓋板螺釘后，輕啟端蓋板。端蓋板如密合得很緊，則應(yīng)慢慢設(shè)法起開。例如，可用銼刀在泵腔與端蓋板合縫處銼一小槽，然后用起子(改錐)插于小槽處用手敲起子把手，亦可用小錘輕敲起子以退出端蓋板，切不...
2025
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07
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在電子行業(yè)實(shí)現(xiàn)集中抽真空，需從設(shè)備選型、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、工藝流程優(yōu)化及維護(hù)管理四方面系統(tǒng)規(guī)劃，以下為具體方案與分析：一、核心設(shè)備選型：匹配工藝需求，兼顧效率與成本干式真空泵爪式泵：耐粉塵、高軸扭矩，適合刻蝕工藝等產(chǎn)生顆粒物的場(chǎng)景。螺桿泵：粗低真空段抽氣效率高，適合大工藝腔體預(yù)抽真空。羅茨泵：多級(jí)結(jié)構(gòu)可提升真空度，常與螺桿泵或爪式泵組合使用。適用場(chǎng)景：半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示等對(duì)無油污染要求高的領(lǐng)域。優(yōu)勢(shì)：抽速范圍寬、無油污染、耐腐蝕、能耗低，適用于腐蝕性氣體或粉塵顆粒物的抽取。類型選擇：案例：半導(dǎo)體制造中，L/L腔（進(jìn)出樣品腔）多采用多級(jí)羅茨泵，工藝處理腔則以羅茨+爪式干泵或多級(jí)羅茨干泵為主。分子泵渦輪分子泵：工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，與機(jī)械泵聯(lián)用可提升抽速。磁懸浮分子泵：半導(dǎo)體領(lǐng)域規(guī)模較大，無摩擦、壽命長。適用場(chǎng)景：高真空度需求，如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、空間模擬實(shí)驗(yàn)。優(yōu)勢(shì)：通過高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子將氣體分子排出，可獲得極高真空度（達(dá)10?? Pa），且對(duì)大多數(shù)氣體抽取效果好。類型選擇：案例：在半導(dǎo)體工藝處理腔中，分子泵常與干泵組合，實(shí)現(xiàn)低壓下高抽速。低溫泵適用場(chǎng)景：超高真空環(huán)境，如超導(dǎo)材料研究、低溫物理實(shí)驗(yàn)。優(yōu)勢(shì)：利用低溫冷凝原理，可獲得極高真空度（達(dá)10?¹² Pa），且無油污染。限制：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高，需定期釋放和再生，市場(chǎng)規(guī)模較?。s占半導(dǎo)體真空泵的10%）。案例：在電...
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