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2018
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真空泵泵油是真空泵配件，在選擇真空泵油的時(shí)候要注意哪些事項(xiàng)，有哪些要求呢，我們劉工做了如下幾點(diǎn)總結(jié)。 1、泵油的密封性真空泵泵油需求具有適合的粘度，在低溫下能使真空泵疾速啟動(dòng)，在高溫下泵油能具有良好的密封性，在泵內(nèi)泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分，降低運(yùn)用過(guò)程中真空泵的返油率。 2、泵油的飽和蒸汽壓飽和蒸汽壓是泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中，當(dāng)汽液兩相到達(dá)動(dòng)態(tài)均衡時(shí)的壓力稱(chēng)謂飽和蒸汽壓。泵油品的飽和蒸汽壓要盡量低，在泵的最高工作溫度下，仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓，并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強(qiáng)。在60℃溫度條件下至少要到達(dá)6.5×10-5 kPa（因溫升每上升20℃，飽和蒸汽壓大約要下跌一個(gè)數(shù)量級(jí)）。 3、極限全壓力和極限分壓力極限全壓力：由皮拉尼計(jì)或熱偶真空計(jì)測(cè)出真空泵一切物質(zhì)（氣體）產(chǎn)生壓強(qiáng)的總和。國(guó)外目前注重全壓強(qiáng)的測(cè)試指標(biāo)。 極限分壓力：用水銀緊縮式真空計(jì)（麥?zhǔn)嫌?jì)）測(cè)得的泵的極限空氣分壓力，雙級(jí)旋片泵分壓力應(yīng)為≤6×10-5kPa.極限全壓力與極限分壓力差值請(qǐng)求不大于一個(gè)數(shù)量級(jí)。二者之間的差值越大，泵油中含有的揮發(fā)成分就越多，油品的性質(zhì)就越差。 4、真空泵泵油的光滑性表現(xiàn)佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與...
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06
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由于羅茨真空泵是一種技術(shù)含量比較高設(shè)計(jì)比較精巧的設(shè)備，因此它具有非常多的優(yōu)點(diǎn)，但是想要讓這些優(yōu)點(diǎn)真正的發(fā)揮出來(lái)就需要學(xué)會(huì)正確的使用它。因此相關(guān)的工作人員在正式投入操作羅茨真空泵之前應(yīng)該要接受一定的培訓(xùn)懂得操作的技巧和方法，這樣才能夠使得設(shè)備更好的運(yùn)轉(zhuǎn)，具體來(lái)說(shuō)，羅茨真空泵得正確的使用方法包括以下幾個(gè)方面。一、經(jīng)常調(diào)整羅茨真空泵葉輪轉(zhuǎn)子間隙在操作羅茨真空泵到時(shí)候，必須在相應(yīng)的位置留一條連續(xù)的接觸線，通過(guò)這種方式來(lái)阻止氣體流回到真空當(dāng)中，并且在運(yùn)行時(shí)還應(yīng)該要經(jīng)常性的檢查兩轉(zhuǎn)子的嚙合情況。并且使用了一段時(shí)間之后，里面比較關(guān)鍵的元器件可能會(huì)因此而磨損，所以羅茨真空泵廠家提醒需要及時(shí)的進(jìn)行檢查和修理。如果葉輪轉(zhuǎn)子間隙比較小的情況下，如果任其發(fā)展的話那么很可能會(huì)使電機(jī)過(guò)度發(fā)熱而導(dǎo)致?lián)p傷，因此需要進(jìn)行一定的調(diào)整，特別是平時(shí)要經(jīng)常的對(duì)相應(yīng)的位置進(jìn)行清理。二、經(jīng)常檢查羅茨真空泵泵軸的密封狀態(tài)由于羅茨真空泵隨時(shí)要保證里面是處在真空的狀態(tài)，所以密封效果一定要做到位，因此隨時(shí)要檢查密封配件的效果，避免漏氣的情況發(fā)生。專(zhuān)業(yè)提供羅茨真空泵廠家介紹一般來(lái)說(shuō)，要選用質(zhì)量好一些的蜜蜂園事件，比如機(jī)械密封等等，最近新研發(fā)出來(lái)的瓷粉密封效果也不錯(cuò)，值得一試。三、合理選用羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)應(yīng)該要根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行調(diào)整，理論上來(lái)說(shuō)，增加圈數(shù)就會(huì)使排泄量也增加，并且是容積率上升但同時(shí)可能會(huì)因此而增加噪音。所以高...
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一、真空泵使用中要注意人身安全 在現(xiàn)場(chǎng)安裝真空泵是，除了操作真空泵時(shí)要注意安全，還應(yīng)當(dāng)采取一些普遍的預(yù)防措施來(lái)確保自己在工作環(huán)境的健康和人身安全問(wèn)題。無(wú)論機(jī)器在不在運(yùn)行，都務(wù)必穿戴合適的服裝。對(duì)電動(dòng)泵進(jìn)行維修時(shí)，也要確保穿戴上絕緣手套和保護(hù)頭盔。如果你工作或者百分的泵站和污水處理有關(guān)，確保用防水膠布包扎你的傷口，再小也要包扎，否則由直接同污水接觸引起、通過(guò)傷口或者眼睛、口腔膜感染，可能感染嚴(yán)重病毒，如果在現(xiàn)場(chǎng)受傷，應(yīng)當(dāng)立即用防水、殺菌、棉質(zhì)的繃帶包扎，下面請(qǐng)看幾點(diǎn)重點(diǎn)注意事項(xiàng)：1. 實(shí)驗(yàn)操作人員進(jìn)行操作過(guò)程中，切勿攜帶電子產(chǎn)品。2. 實(shí)驗(yàn)操作人員需佩戴真空設(shè)備專(zhuān)用操作手套進(jìn)行操作，不能直接觸碰真空設(shè)備。3. 真空泵設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存，并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。4. 真空泵設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭，應(yīng)選用無(wú)塵紙或無(wú)塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行清潔。5. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持一定干燥度，實(shí)驗(yàn)操作人員應(yīng)每日檢查實(shí)驗(yàn)室的濕度及溫度情況。6. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持良好通風(fēng)，以避免機(jī)械真空泵油氣所造成的影響。7. 操作人員應(yīng)關(guān)注真空設(shè)備所使用泵的溫度，以免過(guò)熱導(dǎo)致儀器壽命縮短。8. 操作人員應(yīng)在分子泵轉(zhuǎn)速降至安全線以下后，放入氮?dú)饣蛞旱?. 操作人員應(yīng)密切關(guān)注高壓泵電源接口損耗程度，以防止操作人員觸電，確保安全。10. 實(shí)驗(yàn)人員進(jìn)行操作時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格按照各真空設(shè)備操作步驟進(jìn)行閥門(mén)開(kāi)關(guān)...
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半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕， 真空吸附，測(cè)試設(shè)備，真空清掃等等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì)對(duì)生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)： 1、定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓： 半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備?！ ?、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度： 半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍. 3、真空泵注意氧氣的濃度...
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真空系統(tǒng)用何種真空泵，首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求,其次應(yīng)對(duì)該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解,比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后,再?zèng)Q定之, 這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵,現(xiàn)將我國(guó)生產(chǎn)的各種類(lèi)型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡(jiǎn)略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn),看來(lái)是必要的。 一、油封機(jī)械泵 現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí),抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產(chǎn)品。 滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。 抽速:H型為8 ~ 600升/秒;2H型為8~ 70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。 余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產(chǎn)。 這類(lèi)泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮(zhèn)時(shí))低-個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速,當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。 二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~ 2000升/秒,我國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級(jí)泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強(qiáng)范圍較寬,最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托,油增壓泵1 ~ 2托)&...
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1. 選真空泵要確認(rèn)環(huán)境條件 包括環(huán)境溫度、相對(duì)濕度、大氣壓力、空氣腐蝕性、危險(xiǎn)區(qū)域等級(jí)、防塵防水要求。2. 選真空泵要確認(rèn)操作條件 指液體吸入側(cè)液面壓力（絕對(duì)）、排出側(cè)液面壓力、間歇或連續(xù)工作、位置固定或移動(dòng)、安裝維修方便性。3. 選真空泵要確認(rèn)介質(zhì)性質(zhì) 包括介質(zhì)名稱(chēng)、溫度、密度、粘度、飽和蒸汽壓力、固體顆粒直徑和含量、氣體的含量、腐蝕性、揮發(fā)性、燃爆性、毒性。4. 選定真空泵過(guò)流部件的材質(zhì) 根據(jù)泵送介質(zhì)的物理化學(xué)性質(zhì)主要考慮以下幾個(gè)方面： ?。?） 介質(zhì)的腐蝕性， 泵過(guò)流部件的耐腐蝕性能滿(mǎn)足使用要求即可，不可追求過(guò)高的耐腐蝕性能，否則，將大幅度增加泵的購(gòu)置成本?！ 。?） 介質(zhì)是否含固體顆粒， 因?yàn)楣腆w顆粒的硬度和含量直接關(guān)系到泵過(guò)流部件的耐用性?！ 。?） 介質(zhì)的溫度（壓力）， 介質(zhì)的溫度（壓力）越高，泵過(guò)流部件的材質(zhì)強(qiáng)度應(yīng)越高。一般的，溫度250℃時(shí)，應(yīng)選用鑄鋼件或鋼件?！ 。?） 有衛(wèi)生級(jí)或禁止污染要求的介質(zhì)， 選擇相應(yīng)的過(guò)流部件材質(zhì)。另外，泵的結(jié)構(gòu)應(yīng)是便于清洗的。5. 選定真空泵性能參數(shù) ?。?）計(jì)算法 A. 流量：它直接關(guān)系到整個(gè)裝置的生產(chǎn)能力和輸送能力。如工藝設(shè)計(jì)中能算出泵正常、最小、最大的三種流量。選擇泵時(shí)，以最大流量為依據(jù)，兼顧正常流量，在沒(méi)有最大流量，通常可取正常流量的1.1倍作為最大流量。 B. 揚(yáng)程：一般要用放大5%-10%余量后的揚(yáng)程...
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