發(fā)布時間:
2020
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07
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24
來源:
73
干式真空泵在一個特殊的行業(yè)中應(yīng)用廣泛，為了配合行業(yè)的使用，方便用戶的選擇，廠家分為多種，主要有以下形式。 雙圓裂片式真空泵 雙圓裂片式真空泵的修訂與目前最流行、應(yīng)用最廣泛的羅茨泵很相似。 實際上，一些最初的干泵設(shè)置修正思想是把羅茨泵重疊起來。 這樣的多級修訂使瓦斯氣體通路變得相當(dāng)復(fù)雜，各級需要大的流量氮瓦斯氣體發(fā)揮稀釋和隔離的作用。 此外，為了達(dá)到良好的真空度，對各級的間隙要求非常嚴(yán)格。 當(dāng)然，該設(shè)置修訂會增加內(nèi)部壓縮比，因此電功耗相對較低?！ ∪~圓裂片式真空泵 三葉裂片式真空泵設(shè)置修訂和雙圓裂片式設(shè)置修訂的原理完全相同，只是在一周的時間里把瓦斯氣體分成三個，而不是像雙圓裂片式那樣分成兩個。 這兩種設(shè)計有相同的優(yōu)點和缺點。 為了進一步降低電功耗，根據(jù)傳動部的制造商選擇了2個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩的減少，重啟的能力下降。 與雙圓裂片式設(shè)定訂正同樣，三葉圓裂片式設(shè)定訂正的各段為了發(fā)揮稀釋和隔離的作用，需要較大的流量氮瓦斯氣體。 組合式(羅茨+爪)真空泵 組合式(羅茨+爪)的設(shè)定改正是羅茨提高低壓下的抽氣效率，爪提高高壓下的抽氣效率。 其基本原理和瓦斯氣體通道與先前介紹的圓裂片式設(shè)置修訂完全相同。 有些廠家將其最終段改為星形設(shè)置訂正，一轉(zhuǎn)即可將氣體分為五個，如三圓裂片式設(shè)置訂正可分為三個。 類似地，在許多處理中，在組合設(shè)置修訂的每級中，大流量氮瓦斯氣體需要用作稀釋和隔離?！ ⊥獠繅嚎s型螺桿式真空泵 在外部壓縮型螺桿式設(shè)定修訂中，使用一對等間距螺桿。 由此，將內(nèi)部壓縮抑制在最小限度，并且使瓦斯氣體定通路最短也變得最簡單。 由此，氣體在泵內(nèi)的停留時間也變得最短。 該設(shè)定糾正減少了內(nèi)部的壓縮比，相對提高了電功耗，但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中呈現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。 這種單段設(shè)定修正對氮瓦斯氣體的使用量的要求也非常小、簡單，因此在不同的工藝中的兼容性良好。 在很多清洗過程中不...