2019
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真空裝置自動控制常用名詞匯術(shù)語有很多,下面這些就是小編給大家總結(jié)的.希望能夠給大家?guī)韼椭?1、被控制對象要求實現(xiàn)控制的真空裝置或生產(chǎn)過程，稱之為被控制對象。例如真空閥、真空泵、真空鍍膜機、真空熱處理爐等。2、測量裝置測量被控制量變化的裝置。例如:真空計、溫度計、膜厚測量儀等。3、調(diào)節(jié)裝置(調(diào)節(jié)器)它把測量裝置所測量的被控制童與真空工藝所需要保持的給定值相比較，得出偏差值，并按設(shè)計好的運算規(guī)律進行運算，發(fā)出信號，使控制執(zhí)行機構(gòu)動作，以消除被控制量與給定值的偏差。如模擬PID(比例、積分、微分)調(diào)節(jié)器、數(shù)字PID調(diào)節(jié)器(即單片機、計算機)等。在真空裝置的真空度控制中，它通常與測量裝置的真空規(guī)及執(zhí)行機構(gòu)的真空調(diào)節(jié)閥組合在一起，構(gòu)成壓力控制儀。4、執(zhí)行機構(gòu)它接受調(diào)節(jié)裝置發(fā)出的信號，產(chǎn)生調(diào)節(jié)作用，以消除被控制量與給定值的偏差。如真空室中調(diào)節(jié)真空度的調(diào)節(jié)閥及調(diào)節(jié)加熱溫度的調(diào)功器均屬此類機構(gòu)。5、被控制量系指被控制對象內(nèi)要求實現(xiàn)控制的參數(shù)。例如:壓力、溫度、流量、膜厚等。6、測量值測量裝置所測得的被控制量的實際值。7、給定值被控制量要求保持恒定或按預(yù)定規(guī)律變化的規(guī)定值。8、偏差測量值與給定值之差。9、擾動干擾它是使被控制量產(chǎn)生變化的因素。擾動分兩種:一種為控制系統(tǒng)內(nèi)各個環(huán)節(jié)產(chǎn)生的擾動，稱為內(nèi)擾;另一種為控制系統(tǒng)以外對系統(tǒng)產(chǎn)生的干擾，稱為外擾。10、反饋把輸出信號送回到輸人端，以增強或減弱輸人信...