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2020 - 08 - 07
螺桿真空泵主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、齒輪、冷卻循環(huán)和密封組成。傳動軸與驅(qū)動轉(zhuǎn)子連接，通過高精度同步齒輪驅(qū)動轉(zhuǎn)子反向旋轉(zhuǎn)，通過吸氣、壓縮和排氣三個過程達(dá)到抽氣的目的。其獨特的外形設(shè)計直接決定了泵的真空度、抽速、容積效率、振動和噪聲等技術(shù)性能指標(biāo)。因此，它在各種環(huán)境過程中表現(xiàn)出高度的穩(wěn)定性。然而，當(dāng)我們在夏天使用螺桿真空泵時，我們應(yīng)該格外小心，因為螺桿真空泵本身的溫度在工作時間內(nèi)很高。如果熱量難以散發(fā)或繼續(xù)在高溫下長時間工作，螺桿真空泵的溫度會隨著熱量的增加而升高。一旦達(dá)到螺桿真空泵的零界溫度，就會出現(xiàn)異常噪音、噴油甚至堵塞，直接導(dǎo)致異常運行!　　那么，我們?nèi)绾卧谙奶煺_地使用螺桿真空泵，當(dāng)使用螺桿真空泵時，我們能做些什么來減少損壞呢?這個問題值得我們考慮。首先，我們應(yīng)該在熱天之前清洗螺桿真空泵。其次，在任何情況下都不應(yīng)該將螺桿真空泵直接放在太陽下!特別是，放置在室外的螺桿真空泵必須避免直接暴露，螺桿真空泵應(yīng)盡可能放置在陰涼的地方。由于螺桿真空泵工作時溫度較高，如果再次暴露在陽光下，不僅難以從自身溫度散熱，還會增加螺桿真空泵必須承受的溫度，長時間使用肯定會對螺桿真空泵造成更嚴(yán)重的損壞。　　我們不僅要避免這些會導(dǎo)致螺桿真空泵溫升的因素，還要盡力降低螺桿真空泵的工作溫度。例如，安裝螺桿真空泵時，應(yīng)將其放置在空氣流通良好的地方。沒有這樣的地方，冷卻設(shè)備應(yīng)該安裝在螺桿真空泵所在的地方。這兩種方法不...
2020 - 08 - 14
長期工作的真空泵都會出現(xiàn)故障，其中真空度不足是常見故障之一。這是什么原因造成的呢?給大家總結(jié)了12條原因。　　1. 真空泵漏氣。真空泵經(jīng)過長時間使用后，密封墊片老化致使真空泵漏氣，導(dǎo)致真空度不足　　2. 所抽氣體溫度過高。在進氣管路上安裝冷卻裝置，降低進氣溫度　　3. 真空泵油乳化、碳化。真空泵在長期使用過程中不經(jīng)常更換以及人工保養(yǎng)的話，真空泵油將會發(fā)生乳化或碳化現(xiàn)象，從而導(dǎo)致真空泵缸體出現(xiàn)磨損，油管堵塞、油過濾器堵塞等一系列問題。　　4. 油量不足或油質(zhì)不對。增添新的機械泵專用的真空泵油?！　?. 真空泵油過濾器堵塞或損壞。真空泵油過濾器也稱油霧分離器、油過濾芯、排氣濾芯等叫法，若油霧分離器發(fā)生堵塞，被抽進泵體的氣體將不容易排出，此時泵體內(nèi)內(nèi)壓過高，抽速降低，真空度下降?！　?. 真空泵油已污損。更換新的真空泵專用油?！　?. 電機是否正常。電機的轉(zhuǎn)速不正常抽速將會減慢，從而導(dǎo)致真空度不足?！　?. 真空泵油溫度太低。在寒冷季節(jié)，室內(nèi)溫度過低影響真空泵油溫度，等泵運轉(zhuǎn)半小時后，才能正常工作。　　9. 缸體出現(xiàn)磨損。缸體內(nèi)壁可能出現(xiàn)磨損，導(dǎo)致真空度不足?！　?0. 真空泵排氣閥片損壞漏氣。更換新的真空泵排氣閥片?！　?1. 轉(zhuǎn)子移位。轉(zhuǎn)子與端蓋的標(biāo)準(zhǔn)安裝位置發(fā)生偏移，導(dǎo)致真空度不足，可找廠家校正。　　12. 零件損壞。因使用時間長，零件磨損，零件之間的間隙變大，從而影響正常工作和真...
2020 - 08 - 24
隨著真空泵結(jié)垢的開始，循環(huán)水在泵內(nèi)的熱傳遞環(huán)境逐漸被破壞，熱交換效率將越來越低，結(jié)垢速度會越來越快。水垢成因大致包括以下幾個方面:　　(1)受熱分解。　　含有硬度成分的循環(huán)水進入真空泵后，隨泵的旋轉(zhuǎn)在泵體內(nèi)形成水環(huán)做功發(fā)熱，使溶解在水中的重碳酸鹽逐漸分解，析出難于水的沉淀結(jié)成水垢?！　?2)溶解度降低。　　負(fù)溶解度溫度系數(shù)的SO4、CaSiO3、CaCO3等鹽類，隨著循環(huán)水水溫的增高溶解度降低析出沉淀結(jié)為水垢?！　?3)相互反應(yīng)?！　⊙h(huán)水中原來溶解度較大的鹽類，在真空泵運行過程中，和其它鹽類相互反應(yīng)生成難溶物質(zhì)形成沉淀結(jié)成水垢?！　?4)蒸發(fā)和濃縮?！　∮捎谘h(huán)水不斷做功發(fā)熱，不可避免地要產(chǎn)生蒸發(fā)和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增大，達(dá)到飽和時析出沉淀形成水垢。
2020 - 08 - 31
影響羅茨真空泵工作的因素大致分為冷凝水的影響、蒸汽的影響及環(huán)境的影響，以及泵體規(guī)劃的影響。 關(guān)于影響羅茨真空泵工作的這些因素介紹總結(jié)。　　1 .對真空泵的排水起到了重要的作用。 對于冷凝水，可以阻止蒸汽的大量凝結(jié)。 真空泵排氣壓力中的水蒸氣分壓需要高于與我們相對應(yīng)的總蒸氣壓。 因此，關(guān)于冷凝水的溫度，在這樣的壓力下，要求比我們的全溫度低。 由此，能夠保證泵體的正常運轉(zhuǎn)停止?！　? .過度充實水蒸氣實際上以作業(yè)為媒介，但是關(guān)于蒸氣的狀況本身，對于泵的效用也有決議性的影響。 對于濕蒸汽，泵的工作也有影響?！　? .關(guān)于環(huán)境的影響對于真空泵的工作的影響，主要是排氣，關(guān)于系統(tǒng)的污染，在我們的鋼水處理過程中，鋼水本身也放出很多氣體，同時，其中一部分的微細(xì)氧化粉皮等很多小粒子被真空泵吸入?！　? .在羅茨真空泵中，其簡單的磨損部分實際上是蒸汽噴嘴。 如果噴嘴磨損，則只影響泵的功能。 在這種情況下，系統(tǒng)的運行成本可能會增加。 最后，關(guān)于影響羅茨真空泵工作的一些傳統(tǒng)故事，也必須引起我們大家的重視。
2020 - 09 - 21
干式真空泵在使用時會發(fā)生汽蝕，但大部分真空泵都有這個問題。 這種空氣蝕刻現(xiàn)象因設(shè)備造成的損傷比較嚴(yán)重。 所以，我們在使用時必須盡量避免設(shè)備的汽水腐蝕?！　∫部梢詾闄C械的單獨裝置提供避免汽蝕的裝置。 設(shè)置的話可以避免設(shè)備的汽蝕，設(shè)置后抽真空的效果也會更高?！　∥覀冊谑褂脮r可以選擇使用一些低飽和度的液體作為工作液。 比普通水直接用作工作液效果好。 油的飽和蒸氣壓比水低一些，因此水環(huán)真空泵的真空度也會提高。 一般設(shè)備運轉(zhuǎn)時所具有的真空度與工作液的飽和蒸氣壓有關(guān)，因此工作液的運轉(zhuǎn)中使用油效果比較好，可以大幅度降低干式真空泵成為汽水腐蝕狀況的頻率。 但是，只有在使用防爆電機的情況下，才能使用油作為工作液?！　×硗猓ㄟ^安裝汽蝕保護管，即使出現(xiàn)氣泡也能很快破裂。 另外，此時設(shè)備運轉(zhuǎn)時的振動頻率也變小。 這樣，使用時設(shè)備就處于比較穩(wěn)定的狀態(tài)?！　∩鲜鼋榻B了避免干式真空泵汽蝕問題的幾個方法，一般這些方法都不需要使用，只使用其中的1~2種就能得到很好的保護作用。 另外，這些裝置中不僅有助于避免汽蝕現(xiàn)象的發(fā)生，還有助于設(shè)備的運轉(zhuǎn)。
2020 - 10 - 14
隨著羅茨真空泵，使用率的提高，井蓋的質(zhì)量也越來越高。由于它的特點和優(yōu)點，被大家廣泛使用。為了更好地利用它，讓我們知道羅茨真空泵的需水量?！　×_茨真空泵廣泛應(yīng)用于我們的生活，如石油、化工、冶金等。行業(yè)。我們知道它的運行與水有關(guān)，水質(zhì)會直接影響設(shè)備的運行。所以它的用水量有一定的要求。羅茨真空泵的廢水量Q應(yīng)小于或等于用水量Q，即Q ≤ Q。為嚴(yán)格區(qū)分生產(chǎn)用水和非生產(chǎn)用水，有必要控制自然降水進入循環(huán)水系統(tǒng)，這在多雨地區(qū)尤為必要。根據(jù)水質(zhì)要求和實際情況，部分缺水可補充清水或處理后的廢水?！　∷|(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求，不會影響產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進行。工業(yè)用水大致可分為三部分：冷卻水、生產(chǎn)工藝用水和用于蒸汽生產(chǎn)的鍋爐用水。間接冷卻水與不同原料的產(chǎn)品直接接觸，但水溫升高，冷卻后可在循環(huán)使用。然而，由于冷卻過程中的蒸發(fā)，水中的鹽含量相對增加，硬度增加。應(yīng)進行脫鹽處理，防止結(jié)垢和藻類等生物繁殖。在羅茨真空泵，使用時，水的使用必須符合規(guī)定，不僅在數(shù)量上，而且在質(zhì)量上，以確保設(shè)備的正常運行?！　∫陨鲜顷P(guān)于羅茨真空泵的需水量你可以理解，好的需水量效果只有在使用過程中按照正確的操作方法才能達(dá)到。不了解可以打電話咨詢。我們會根據(jù)您的實際要求向您推薦，避免盲目操作帶來不必要的麻煩。
2020 - 10 - 26
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是粗真空泵，得到的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器達(dá)到270~670Pa。 水環(huán)泵也可以作為壓縮機使用。 稱為水環(huán)式壓縮機，是低壓壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa的表壓?！　∷h(huán)泵最初被用作吸水環(huán)泵，之后被用于石油、化學(xué)、工業(yè)、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥、食品等很多工業(yè)部門。 在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝中，例如真空過濾、真空引水、真空輸送、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到了廣泛的應(yīng)用。 隨著真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在獲得粗真空方面一直受到重視。 因為水環(huán)泵中的氣體壓縮是等溫的，所以除了可以抽除易燃易爆的氣體以外，還可以抽除含塵含水氣體，所以水環(huán)泵的應(yīng)用越來越多?！　”皿w里有適量的水作為工作液。 葉輪在順時針旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪甩到周圍，在離心力的作用下，水形成由泵室的形狀決定的大致等厚的封閉圓環(huán)。 水環(huán)的下部內(nèi)表面正好與葉輪輪轂接觸，水環(huán)的上部內(nèi)表面正好與葉片前端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)具有一定的插入深度)。 此時，葉輪的輪轂和水環(huán)之間形成新月形的空間，該空間被葉輪分成與葉片數(shù)量相等的幾個小空洞。 以葉輪的下部為起點，葉輪在旋轉(zhuǎn)前的180時，小室的容積變小，與端面的吸氣口相通，此時氣體被吸氣，吸氣結(jié)束時小室與吸氣口隔絕。 葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔室變大變小，氣體被壓縮。 型腔通向排氣口時，氣體會排出泵外?！　∪缟纤觯?..
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2020 - 04 - 22
sk型水環(huán)真空泵　　SK型水環(huán)真空泵的用途和范圍;　　SK型水環(huán)真空泵和壓縮機用于抽吸或加壓氣體和其他非腐蝕性、不溶于水和無固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空或壓力，并滿足工藝流程的要求。允許少量液體混合在吸入或加壓氣體中?！　K型水環(huán)真空泵和壓縮機廣泛應(yīng)用于機械、石油、化工、制藥、陶瓷、制糖、印染、冶金和電子行業(yè)。由于這種泵在工作過程中對氣體的壓縮是在等溫狀態(tài)下進行的，所以在壓縮或泵送易燃易爆氣體時不容易發(fā)生危險，因此其應(yīng)用更加廣泛?！　K型水環(huán)真空泵的工作原理;　　由于工作過程中所做的功，SK型水環(huán)真空泵產(chǎn)生熱量，這將導(dǎo)致工作水環(huán)變熱。同時，一些水和氣體被排放在一起。因此，在工作過程中，必須向泵持續(xù)供水，以冷卻和補充泵中消耗的水，并滿足泵的工作要求。當(dāng)SK型水環(huán)真空泵排出的氣體不再使用時，在泵的排氣端連接一個氣水分離器(一個水箱可自行更換)。廢水和部分水排入氣水分離器后，氣水分離，氣體從排氣管排出，剩余的水通過回水管供泵繼續(xù)使用。隨著工作時間的延長，工作水的溫度將不斷升高。此時，需要從氣水分離器的供水中供應(yīng)一定量的冷水(自來水)，以降低工作水的溫度，并確保SK型水環(huán)真空泵能夠滿足所需的技術(shù)要求和指標(biāo)。　　SK型懸浮臂式水環(huán)真空泵　　SK型懸掛臂式水環(huán)真空泵的應(yīng)用及范圍：　　SK懸浮臂式水環(huán)真空泵SK-0.4、SK-0.8、SK-1.0、SK-1.5B 型水環(huán)泵用于泵送...
2020 - 04 - 24
冰箱內(nèi)膽成型過程怎么樣的呢?又是什么樣的原理?螺桿真空泵用在了什么地方。今天跟隨小編從內(nèi)膽材料，吸塑工藝，吸塑機一起來了解一下?！　?nèi)膽材料　　熱塑性材料：指能在特定溫度范圍內(nèi)可以反復(fù)加熱軟化和冷卻硬化(成型)?！　〕Ｓ冒宀乃芰希骸　S聚苯乙烯厚片材料　　HIPS抗沖擊性聚苯乙烯(140-150℃)　　ABS:丙烯腈(A)、丁二烯(B)、苯乙烯(S)三種單體的三元共聚物(160-170℃)　　冰箱內(nèi)膽板材常用厚度0.5-0.8CM　　吸塑工藝　　又稱真空加熱成型工藝　　熱成型工藝是利用熱塑性塑料的片材作為原料來制作制品的一種方法;　　工藝應(yīng)用是真空泵產(chǎn)生的真空吸力將加熱軟化后的熱塑性塑料片材，經(jīng)過模具吸塑成各種形狀的真空“罩”，或貼附于各種模具的表面。　　吸附壓力：模具底部抽真空(-0.07 ~ -0.09Mpa)，使片材兩面產(chǎn)生壓差，貼附模具成型;　　工藝過程　　增加壓縮空氣(正負(fù)壓吸塑)：提高成型效果，或形狀復(fù)雜的內(nèi)膽關(guān)鍵部分成型效果不好，在真空成型內(nèi)膽上方增加壓空成型箱，壓縮空氣壓力≤0.35Mpa。上壓下吸，提高成型速度，增強成型效果?！　∥軝C　　吸塑機的結(jié)構(gòu)組成：　　加持系統(tǒng)(上料、下料)　　加熱裝置　　真空系統(tǒng)　　壓縮空氣系統(tǒng)　　模具系統(tǒng)　　切邊裝置　　控制系統(tǒng)　　冰箱內(nèi)膽成型真空應(yīng)用中阿特拉斯品牌螺桿真空泵主要在吸塑機中，是吸塑機中非常重要的一環(huán)。如果有時間可以現(xiàn)...
2020 - 04 - 27
液環(huán)式真空泵是含有多葉子的電機轉(zhuǎn)子軸力裝在泵體內(nèi)。當(dāng)它轉(zhuǎn)動時，把液體(一般為水)拋向泵體并產(chǎn)生與泵體同舟的液環(huán)，液環(huán)同電機轉(zhuǎn)子葉子產(chǎn)生了容量，周期時間轉(zhuǎn)變的轉(zhuǎn)動變?nèi)菡婵毡?。液環(huán)式真空泵中最普遍便是水環(huán)式真空泵。這類水環(huán)式真空泵關(guān)鍵用以粗真空泵，抽供氣量較為大的加工工藝全過程中，在化工廠、塬油、輕工行業(yè)單位獲得了普遍的運用。這類泵的優(yōu)勢是：構(gòu)造簡易，生產(chǎn)制造非常容易，工作靠譜，方便使用，使用性能強，能夠 抽的氣體十分大，包含腐蝕氣體、有塵土的氣體和水氣化合物?！　∠逻厼榇蠡飪涸敿?xì)介紹挑選液環(huán)式真空泵應(yīng)留意什么事宜層面的小常識?！　?、掌握被抽氣體成份，氣體中含沒有可凝蒸汽，有沒有顆粒物塵土，有沒有腐蝕等。挑選真空泵時，必須了解氣體成份，對于被抽氣體挑選相對的泵。假如氣體中帶有蒸汽、顆粒物、及腐蝕氣體，應(yīng)當(dāng)考慮到在泵的進風(fēng)口管道上安裝輔助機器設(shè)備，如冷卻器、除塵設(shè)備等。　　2、恰當(dāng)?shù)靥暨x液環(huán)式真空泵的工作點。每個泵常有一定的工作壓強范疇，如：SPECK的V系列產(chǎn)品水環(huán)真空泵工作壓強范疇760mmHg~33mmHg(絕壓)，在那樣寬壓強范疇內(nèi)，泵的泵效隨壓強而轉(zhuǎn)變(詳盡轉(zhuǎn)變狀況參考泵的特性曲線圖)，其平穩(wěn)的工作壓強范疇為760~60mmHg。因此，泵的工作點應(yīng)當(dāng)選在這個范疇以內(nèi)比較適合，而不可以讓它在33mmHg下長期性工作。　　3、液環(huán)式真空泵排出去的油蒸汽對自然環(huán)境的危害怎樣。假如自...
2020 - 04 - 29
下面介紹真空泵的特點、工作原理和應(yīng)用范圍?！　?.螺桿泵　　螺桿泵的特點：除了容積式泵的共同特點外，螺桿泵還可以應(yīng)用于許多不允許液體攪拌和旋轉(zhuǎn)的場合，因為它具有軸向流動連續(xù)、均勻、脈動小、內(nèi)部速度低以及允許更多空氣和其他氣體混合的優(yōu)點。它常用于石油、化工、化纖、電力、海洋平臺工程、造船、精密機床、食品等工業(yè)部門。　　2.齒輪泵　　齒輪泵的特點：　　(1)結(jié)構(gòu)簡單，價格低廉;　　(2)工作要求低，應(yīng)用廣泛;　　(3)端蓋和齒輪的每個齒槽形成多個固定的密封工作腔，只能作為定量泵使用;　　(4)重量輕、工藝性好、價格低、自吸能力強、對油污不敏感、轉(zhuǎn)速范圍大、耐沖擊負(fù)荷、維護方便、工作可靠;　　(5)徑向力不平衡，流量脈動大，噪音大，效率低，零件互換性差，磨損后難以修復(fù)，不能作為變量泵使用。　　適用范圍：一般運輸潤滑液體，如燃油和石油部門的潤滑油;它在機械工業(yè)中用作中速小作用力液壓系統(tǒng)和潤滑油系統(tǒng)的輔助油泵。它可用于運輸高粘度材料，如尼龍、聚乙烯、聚丙烯和化學(xué)工業(yè)中的其他熔融樹脂?！　?.旋片真空泵　　旋片真空泵體積小、重量輕、噪音低。有一個氣鎮(zhèn)閥可以去除少量的水蒸氣。在5至40攝氏度的環(huán)境溫度范圍內(nèi)，入口壓力小于1.3103帕，允許長期連續(xù)運行。當(dāng)泵送氣體的相對濕度大于90%時，應(yīng)打開氣鎮(zhèn)閥。配有自動防回油單向閥，啟動方便。進氣口不得連續(xù)平穩(wěn)運行超過一分鐘。它不適合去除腐蝕金屬、與泵油發(fā)...
2020 - 05 - 07
安裝干式真空泵時，需要將電纜拉出，連接電纜時必須注意正確的方法，否則會極大地影響真空泵的正常使用?！　?.當(dāng)用聚酯絕緣帶包裹時，確保壓下第一圈的一半，包裹8-12層，然后再包裹它們。然后用膠帶將兩層包裹起來，以獲得強度?！　?.將干式真空泵電纜的銅芯從約30-35毫米長的地方取出，用砂布將銅線擦拭干凈，將三芯電纜的銅線從30-35毫米長的地方取出，用砂布擦拭干凈，將三芯電纜與外部電纜的銅線部分插在一起。然后，用薄銅將其緊密粘合，切掉剩余的部分，用剪刀壓平，以防打結(jié)?！　?.三根焊絲應(yīng)分別用錫焊接。焊頭表面應(yīng)光滑，無毛刺和假焊。如果沒有焊炬或焊炬不光滑，應(yīng)重新焊接真空泵。直到請求達(dá)成?！　?.用塑料帶把三根電線包在一起。第一層在絕緣層末端大于50毫米。第二層在第一層的末端超過50毫米?！　?.包裝后，用一壺冷水將包裝線安全浸泡在水中。12小時后，保溫層不得小于50 MW 500表壓。否則，應(yīng)該在必要時重新包裝?！　?.干式真空泵的接地線也應(yīng)按照海底電纜線路的技術(shù)要求進行包裝?！　?.真空泵連接時，不斷觀察絕緣電阻的變化，以防止電纜絕緣損壞。　　干式真空泵的連接方式需要注意本文中提到的幾點。連接必須安全有效。必須按照標(biāo)準(zhǔn)操作，以保持設(shè)備穩(wěn)定運行，避免故障、燒壞電機和造成經(jīng)濟損失。
2020 - 05 - 11
大多數(shù)真空泵常見問題包括粘住和漏油。應(yīng)該在發(fā)生之前采取預(yù)防措施。如果設(shè)備在使用過程中可以每天進行檢查和維護，就可以避免泵中大部件的磨損和損壞。以下是老師傅對真空泵常規(guī)檢查“四檢”的介紹?！　∫?，當(dāng)真空泵正常運行和使用時，每三天檢查以下內(nèi)容：　　1.泵油在光標(biāo)范圍內(nèi)?！　?.泵油是否變黃.變黑.渾濁?！　?.是否有異常聲音?！　?.真空泵運行時是否漏油。　　二，如果真空泵過濾金屬網(wǎng)，應(yīng)該每周打開一次，以清潔和過濾雜質(zhì)?！　?.過濾網(wǎng)不能過濾碎屑時，要更換過濾器.密封墊?！　∪?定期維護設(shè)備的維護說明：　　泵運轉(zhuǎn)不良時，必須通過油窗了解臟污程度和粘度，并及時更換泵油。泵油更換周期：每六個月更換一次油并清洗一次。泵油更換步驟如下：　　1.打開泵的吸入管，5秒鐘后開始運行。泵中剩余的泵油可以輕松清除?！　?.首先拆下排氣管，打開油閥，然后倒出泵油。　　3.關(guān)閉放油閥，從加油口注入新的真空泵油?！　?.如果泵油的污染很嚴(yán)重，必須添加一些新的泵油，通過幾分鐘的操作來清洗它，如果一次清洗不到位，必須反復(fù)清洗幾次?！　?.更換新泵油后，讓泵啟動并運行，然后在溫度升高后確認(rèn)真空極限壓力?！　?.維護期間應(yīng)清潔濾網(wǎng)?！　∷?操作說明：　　1.真空泵在長期運行過程中會產(chǎn)生高溫(40 -80度)。因此，在運行或停止運行后，在電機和泵體冷卻到正常溫度之前，不能接觸表面?！　?.在工作緊急情況下，總電源關(guān)閉后...
2020 - 05 - 15
進口真空泵，凡是利用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)以獲得真空的泵，稱為機械真空泵。　　(1)按真空泵的工作原理分類　　①抽除式，真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體，并將氣體分子排至系統(tǒng)之外?！　、诓都?。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)?！　?2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類　?、贆C械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵?！　、趪娚浔?。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。　?、畚健Ｒ揽课锢砘蚧瘜W(xué)方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵?！　?3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類　?、僦鞒闅獗?。實現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵?！　、陬A(yù)抽氣泵。當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時，需要預(yù)抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作?！　、矍凹壉?。當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。　?、芫S持泵。當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。
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半導(dǎo)體廠中的真空系統(tǒng)用那種

日期： 2019-09-25
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　　眾所周知，半導(dǎo)體工藝水平?jīng)Q定了晶體管尺寸大小。在半導(dǎo)體廠或光電廠中，真空系統(tǒng)應(yīng)用于提供制程設(shè)備的真空吸盤或吸筆來搬運傳送晶片或玻璃，為半導(dǎo)體制程中相當(dāng)重要之支援系統(tǒng)。本篇文章涉及半導(dǎo)體制程技術(shù)領(lǐng)域，在介紹真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用之前，打算先對半導(dǎo)體制程和真空系統(tǒng)做些簡單的介紹。

真空系統(tǒng)

　　在真空系統(tǒng)中，真空針對大氣而言，表示一特定空間或系統(tǒng)內(nèi)部分氣體被排出，其內(nèi)部空間的壓力小于大氣壓力，則稱此空間為真空或為真空狀態(tài)，簡單言之，空間內(nèi)壓力低于一大氣壓力即為真空。在高科技制程中所要求的高真空或超高真空，就必須要有足夠的真空技術(shù)或設(shè)備才能達(dá)成。

　　半導(dǎo)體制程專用真空系統(tǒng)的真空度要求一般為700-~500mmHg之間，僅落在粗略真空范圍內(nèi)，而制程設(shè)備真空度要求則視其應(yīng)用范圍而定，而落在中真空度與超高真空度或以上之范圍。

　　不同類型的真空泵組合而成的系統(tǒng)，真空度也有所不一樣，關(guān)于真空系統(tǒng)的類型，整理出幾大類。

　　真空系統(tǒng)的類型有三種：

　　1.低真空系統(tǒng)

　　2.中真空系統(tǒng)

　?、儆闪_茨泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　?、谟捎驮鰤罕脼橹鞅么?lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　?、塾闪_茨泵串聯(lián)小羅茨泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)。

　　3.高真空系統(tǒng)

　　①由擴散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　?、谟蓴U散泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng);

　?、塾蓴U散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)

　　上述的內(nèi)容，在半導(dǎo)體制造過程中，是選擇高真空系統(tǒng)的應(yīng)用的最佳方法中，在高真空系統(tǒng)可以是不同的真空設(shè)備的組合在一起。

　　事實上一個簡單的真空系統(tǒng)只能夠獲得粗真空，并且期望得到高的真空，典型地串聯(lián)在真空系統(tǒng)中的高真空泵，如羅茨泵螺桿泵得到和高真空泵。當(dāng)串聯(lián)連接的高真空泵，通常與入口和出口閥在高真空泵相結(jié)合，高真空泵單獨保持真空。如果一系列高真空泵是油擴散泵，以防止回流到容器被抽空大量油蒸氣的，通常是在擴散泵油的入口添加陷阱 - 水冷擋板。該請求還可以增加一個線路濾波器，真空計頭繼電器，連接真空泵吹掃閥入口，散熱器等的真空軟管，這構(gòu)成了更完整的高真空系統(tǒng)。
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深圳恒才新型真空引水機組是一款集高效引水、智能控制與強大過濾功能于一體的先進設(shè)備，以下從核心配置、性能優(yōu)勢、應(yīng)用場景及維護管理四個方面進行詳細(xì)介紹：一、核心配置：德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環(huán)真空泵高效穩(wěn)定：采用德國SPECK品牌水環(huán)真空泵作為主泵，利用水作為工作介質(zhì)，通過葉輪旋轉(zhuǎn)形成水環(huán)，實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排放。其結(jié)構(gòu)緊湊、運行平穩(wěn)，適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體，滿足泥水、粉塵等復(fù)雜工況需求。耐腐蝕性強：泵體材質(zhì)可選不銹鋼或特殊合金，適應(yīng)不同水質(zhì)和化學(xué)環(huán)境，延長設(shè)備使用壽命。低噪音設(shè)計：通過優(yōu)化水環(huán)形成與氣體流動路徑，降低運行噪音，改善操作環(huán)境。西門子觸摸屏控制系統(tǒng)智能化操作：配備西門子觸摸屏，實現(xiàn)設(shè)備啟停、參數(shù)設(shè)置、狀態(tài)監(jiān)控、故障報警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關(guān)鍵參數(shù)，并一鍵調(diào)整運行模式（如手動/自動切換）。遠(yuǎn)程管理：支持與上位機或云端平臺連接，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)分析，提升運維效率。安全保護：內(nèi)置過載、過熱、缺相等多重保護功能，確保設(shè)備安全運行。二、性能優(yōu)勢：快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力：水環(huán)真空泵在短時間內(nèi)建立高真空度（通?？蛇_(dá)-0.098MPa以上），迅速排除系統(tǒng)內(nèi)空氣，形成負(fù)壓環(huán)境，實現(xiàn)快速引水。大流量設(shè)計：泵體流道優(yōu)化，減少阻力損失，確保在引水過程中維持高流量，縮短引水時間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物：過濾器內(nèi)置攪拌裝置，通過旋轉(zhuǎn)葉片打散沉淀物，防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞，同時利用水環(huán)的剪切力將顆粒分散在水中，實現(xiàn)高效過濾。微粒狀固體過濾：濾網(wǎng)精度可根據(jù)需求定制（如50-200目），有效攔截沙石、微粒等雜質(zhì)，避免其進入泵體或管道，保護設(shè)備免受磨損。排水便捷：過濾器設(shè)計有反沖洗功能或快速拆卸結(jié)構(gòu)，可定期清理濾網(wǎng)或排出沉積物，維護簡單，降低停機時間。...
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高效抽氣能力：旋片真空泵通過轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運動，周期性改變泵腔容積，實現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒，單級泵極限壓力可達(dá)1帕，雙級泵更可低至6.5×10?²帕，能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計：機組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu)，將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi)，占地面積小，便于在實驗室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計（如電機直聯(lián)驅(qū)動）進一步減輕了設(shè)備重量，提升了便攜性。移動靈活便捷：小車底部配備移動輪，支持快速搬遷與多工位切換，尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換，確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩(wěn)定可靠：旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設(shè)計，確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑，同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網(wǎng)粗過濾器，可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔，保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。維護簡便經(jīng)濟：機組小車結(jié)構(gòu)簡單，維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油（首次工作滿150小時后換油，之后每500小時換油）與油過濾器、清潔進氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作，確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預(yù)算敏感場景的理想選擇。安全防護完善：設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)（充氣式電磁閥+機械止回閥）與排氣過渡器，可防止氣體倒流與油霧排放，避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時，其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統(tǒng)，防止油返入被抽系統(tǒng)，保障操作安全。適應(yīng)性強：旋片真空泵機組小車可單獨使用，也可與其他高真空泵（如分子泵）組成真空機組，以應(yīng)對不同工藝對真空度的差異化需求。例如，在晶圓鍵合工藝中，可先通過旋片泵快速抽至低真空，再切換至分子泵實現(xiàn)超高真空環(huán)境，提升工藝效率。經(jīng)濟性高：機組小車采用無油設(shè)計（...
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